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    氦質譜檢漏儀 GGH-11
    日期:2021-08-24 瀏覽:3147
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    型號:GGH-11

    說明:GGH-11氦質譜檢漏儀最小可檢漏率:1×10-11Pa?m3/s,漏率顯示范圍: 1×10-4~1×10-11Pa?m3/s ...


    GGH-11型氦質譜檢漏儀指標


    一、檢漏儀技術參數

    1.最小可檢漏率:1×10-11Pa·m3/s

    2.漏率顯示范圍: 1×10-4~1×10-11Pa·m3/s 

    3.啟動時間: ≤5min

    4.響應時間:≤1S 

    5.檢漏口最高壓力: 1000Pa 

    6.檢漏口對氦抽速: 1.5l/s

    7.重量:75kg

    8.工作環境: 溫度:12 oC至40 oC, 相對濕度≤80%


    二、檢漏儀所配置的分子泵的技術參數


    抽速L/S50L/S
    抽氣時間(14L容積)80 sec (100 mbar);110 sec (1 mbar);
    155 sec (1e-4 mbar); 400sec (1e-5 mbar)
    壓縮比N2/He/H25×108/8×104/7×103
    渦輪泵轉速36.000 RPM
    啟動時間<60S
    安裝位置任意
    運行溫度5°C – 50°C
    推薦前級泵DS42   DS302
    入口法蘭直徑KF40
    前級法蘭直徑KF16
    重量16.7Kg


    三、檢漏儀所配置的機械泵的技術參數


    抽氣量50HZ:4L/S
    抽速50HZ:3L/S
    極限分壓強10-4mbar
    極限總壓強2×10-3mbar
    帶氣振閥的極限總壓強1×10-3mbar
    水蒸氣壓強30mbar
    水蒸氣容量350g/h
    油體積 最小/最大0.25/0.6
    發動機功率0.75kw
    轉速 50HZ rpm1500
    重量25Kg
    進氣口法蘭25KF DN
    排氣口法蘭25KF DN


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